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等离子体组件
半导体技术改变了我们对世界的认知，而等离子体加工则让为大众生产产物成为可能。高密度微波辅助等离子体源在刻蚀和沉积系统中表现&苍产蝉辫;，这些系统需要高刻蚀速率，同时避免材料带电或受损。

作为等离子体组件制造商，我们的 地位可帮助您开发和适配系统，同时确保快速进入市场并降低运营成本。作为 “交钥匙" 产物系列的一部分，我们为各种不同的生产工具和应用提供等离子体组件，包括：

氧化物和氮化物层的高密度沉积
SU-8 间隔层处理
有机材料的高选择性去除
用于清洁氧敏感材料的非氧化化学工艺
敏感表面（如传感器）和 3D 结构的无损清洁
各向同性腔体清洁
LIGA 工艺（光刻、电镀和成型）工业加热用磁控管
无论系统设计如何，磁控管在为工业加热生成电磁能量方面都发挥着至关重要的作用。

微波加热用磁控管有 915 MHz 和 2450 MHz 两种版本。我们提供的 915 MHz 版本（也称为 L 波段）输出功率为 5 kW 至 100 kW；2450 MHz 版本（也称为 S 波段）的产物范围覆盖 800 W 至 15 kW。

MUEGGE 为工业售后市场提供标准原始设备制造商（OEM）磁控管和改装磁控管。我们为现有设备提供的广泛产物系列可支持您的产物开发，包括内部制造和实验室测试。

对标准 OEM 磁控管进行的典型改装包括：

冷却方式转换：空冷转水冷
改装及定制冷却块和水连接
螺旋电缆的长度和连接类型
磁控管主体的机械改动
改装输出功率